MEMS是事关国家长远发展和国家安全的前沿性、战略性、颠覆性技术,被列入《国家中长期科技发展规划纲要》(2006-2020)。在国家973计划、国家863计划、国家重点研发计划等支持下,我国MEMS研究取得长足发展。为全面、系统地向国际上介绍中国MEMS研究的最新进展,东南大学黄庆安教授受中国微米纳米技术学会委托,组织了MEMS丛书并担任主编,该丛书日前已由国际著名出版机构Springer出版。
丛书共计40章(1122幅插图),涵盖了MEMS建模、MEMS材料与结构表征、物理类传感器、化学类传感器、微执行器、光MEMS、射频MEMS、动力MEMS、植入式MEMS等前沿技术内容。
该丛书汇集了中科院微系统所、电子所、半导体所、微电子所、纳米能源与系统研究所等5个科学院研究所,清华大学、北京大学、东南大学等13个“双一流”高校的2位院士、4位973首席、9位教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者等我国顶级MEMS研究团队的最新研究成果。
黄庆安教授2001年创建东南大学MEMS教育部重点实验室并担任主任,曾任国家863计划微纳制造技术主题专家组召集人,参与组织了我国MEMS高技术研发,因在MEMS领域的贡献被选为IEEE Fellow。该丛书的出版,扩大了我国MEMS研究在国际上的学术影响。
(蒋明霞)